在湿电除尘器中对粉尘颗粒有两种类型的荷电过程，对于直径大于1μm的颗粒来说场荷电是主要作用，颗粒碰撞沿电力线运动的负离子而带电，这时电压的强弱是影响这个过程的最主要因素。对直径大于0.5μm的颗粒来说扩散荷电是主要作用，亚微米粒子在随机运动时与负离子碰撞而带电，注入的电流密度是影响扩散放电最重要的因素。湿电除尘器中，因放电极被水浸润后，电子较易溢出，同时水雾被放电极的强大电火花进一步击碎细化，使电场中存在加上大量带电雾滴，大大增加亚微米粒子碰撞带电的机率，而带电粒子在电场中运动的速度是布朗运行的数十倍，这样就大幅度提高了亚微米粒子向集电极运行的速度，可以在较高的烟气流速下，捕获更多的微粒。

研究表明，在高于露点温度以上时，烟气中的SO3在205℃（400F）以下时，主要以H2SO4的微液滴形式存在。其平均颗粒的直径在0.4μm以下，属于亚微米颗粒范畴。湿电除尘器对亚微米颗粒的高捕获率，可对SO3的微液滴起相同作用。

因此湿电除尘器能够高效地去除亚微米粒子，雾滴，小至0.01μm的微尘，除尘效率根据运行的电场数不同一般都可达到99.9 %以上。